GEOTRUST SSL CERTIFICATE
Titre : | Handbook of Microlithography, Micromachining and Microfabrication |
Auteurs : | P. Rai-Choudhury, Auteur |
Type de document : | texte imprimé |
Editeur : | new york [london] : The institution of electrical engineers, 2013 |
ISBN/ISSN/EAN : | 978-0-8194-9786-4 |
Format : | 786 p / ill / 24 cm |
Langues: | Français |
Catégories : | |
Note de contenu : |
-optical lithography
-electron beam lithography -x ray lithography -deep uv resist technology |
Exemplaires (1)
Code-barres | Cote | Support | Localisation | Section | Disponibilité |
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TEC025247 | EN01287 | Livre | Magasin des Ouvrages | Electronique | Exclu du prêt |