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Titre : | Caractéristiques électriques et thermiques de la décharge radiofréquence dans le néon avec les données de base du logiciel BOLSIG+ |
Auteurs : | Pr. Abdelaziz BOUCHIKHI, Directeur de thèse ; BELHADJ Amina, Auteur ; BOUREGAG Samiha, Auteur |
Type de document : | texte imprimé |
Editeur : | [S.l.] : Algèrie:unv saida-Dr Moulay Tahar, 2021-2022 |
Format : | 79p. / 29cm |
Accompagnement : | CD |
Note générale : | Bibliographie |
Langues: | Français |
Catégories : | |
Résumé : |
Le travail présenté dans ce chapitre est basé sur la simulation d'une décharge
radiofréquence dans le néon. Les données de base dans le néon sont en fonction de l'énergie électronique. Nous avons étudié l'évolution spatiale des densités particules chargées, le potentiel et le champ électrique ainsi que les densités de courant et la température électronique. L'effet de la tension RF et de la fréquence d'excitation nous ont permis de montrer que La chute du potentiel électrique a lieu principalement dans les gaines alors qu’il est relativement constant dans le volume du plasma, ce qui engendre un champ électrique très variable dans les gaines et constant avec de faibles valeurs dans le volume. Les profils de densités électronique et ionique sont relativement uniformes dans le cœur du plasma et décroît dans les gaines pour s’annuler sur les électrodes. De plus la densité électronique varie instantanément avec le champ électrique mais pas la densité ionique qui suit le champ effectif moyen d’où des profils constants pour toutes les phases du signal d’excitation. L'objectif principal de ce travail était de déterminer les caractéristiques électrique et thermique de la décharge radiofréquence dans le néon, où les données de base sont en fonctions de l'énergie électronique, il s'agit de la mobilité et le coefficient de diffusion électroniques et la mobilité et le coefficient d'énergies électroniques, ainsi que les processus d'ionisation, d'excitation, désexcitation et le coefficient de la collision élastique perdue par électron. En conclusion la physique des plasmas est un domaine multidisciplinaire ; physique atomique, phénomènes de transport, électromagnétisme, matériaux, etc., et de ce fait leur étude théorique est assez complexe. Les plasmas de décharge sont aussi multi applications. C’est ainsi qu’ils sont utilisés dans les domaines des hautes technologies telles que les nanotechnologies (industrie de la microélectronique), l’exploration spatiale (propulsion ionique), les programmes de recherche sur la fusion thermonucléaire : la fusion inertielle et la fusion par confinement magnétique, et dans les dépôts de couches minces ou de traitement de surfaces. Ce travail de mémoire s'inscrit dans le cadre général de la recherche associée aux décharges dans des gaz faiblement ionisés appelés aussi plasmas froids et ce premier chapitre est dédié aux rappels des propriétés fondamentales des plasmas de décharges électriques à basse pression. Comme il sera accordé un intérêt particulier aux décharges basse pression excitées par une tension sinusoïdale radiofréquence (RF), étant donné que la modélisation dont il est question dans ce mémoire est relative à ce type de décharge. Nous aborderons brièvement en dernier lieu l’étude des propriétés physique d'un plasma froid. L'étude de l'évolution spatiale des densités particules chargées, le potentiel et le champ électrique ainsi que les densités de courant et la température électronique sont biens illustrés. Nous avons étudié l'influence de la tension RF et la fréquence d'excitation appliquée au réacteur du plasma, nous avons noté que: L'augmentation de la tension RF ou la fréquence d'excitation entraîne à : l'augmentation des densités de courant l'augmentation du champ électrique et la température électronique l'augmentation des densités des particules chargées l'augmentation du potentiel électrique L'augmentation de la tension RF entraîne à : l'élargissement des gaines le rétrécissement de la région du plasma L'augmentation de la fréquence d'excitation entraîne à : l'élargissement de la région du plasma le rétrécissement des gaines |
Note de contenu : |
1-NOTION DE BASE DU PLASMA ET LA DECHARGE ELECTRIQUE DANS LES GAZ.
2-CALCULS DES PARAMETRES DE TRANSPORT DANS LE NEON ET LES PARAMETRES DU DECHARGE 3-CARACTERISTIQUES ELECTRIQUE ET THERMIQUE DE LA DECHARGE RADIOFREQUENCE DANS LE NEON |
Exemplaires (1)
Code-barres | Cote | Support | Localisation | Section | Disponibilité |
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TECT01734 | T.ET.MS00629 | Périodique | Salle des Thèses | Eléctrothechnique | Exclu du prêt |
Documents numériques (1)
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